空间的消毒灭菌：对于中央空调净化系统以外的洁净室，或需要灭菌的其它房间则需单独进行灭菌处理。方法是选用臭氧发生器，多功能臭氧消毒器，直接安装在该房间内。根据需要设定消毒时间，消毒结束便自动关机，所以使用非常方便。
物品表面消毒灭菌：在化妆品生产过程中，常常要对原材料，臭氧消毒器，工器具，包装物等进行表面消毒，常常使用消毒柜，武汉臭氧消毒器，传递窗等。传统的方法是用紫外线消毒。问题主要是在消毒不彻底，所以，若使用在诸如传递窗等要求不高的场合是可以的。但远不如臭氧的效果好。能用臭氧发生器做成的消毒柜在食品厂是深受欢迎的。只要不怕臭氧腐蚀的东西都可以放在柜内进行消毒。臭氧浓度可以设计的高一点。
紫外线式臭氧消毒机
紫外线式臭氧消毒机机是使用特定波长（185mm）的紫外线照射氧分子，使氧分子分解而产生臭氧。由于紫外线灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，所以这种发生器使用范围较窄，常见于消毒碗柜上使用。
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