产品规格:铟.锡氧化物(ITO)低密度小圆靶
1.产品主要用途
蒸镀制备ITO导电膜
2.产品的物理及化学特性
2.1 化学式:In2O3/SnO2
2.2 外 观:绿色
2.3 晶粒度:5~15μm
2.4相对密度:60%±2%
2.5杂质含量:≤500ppm
3.产品检测方法
3.1晶粒度:扫描电镜(SEM)观察;
3.2纯度:ICP—AES分析测试杂质含量;
3.3 密度:手测法(千分尺、分析天平);
各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、装饰用品等行业。分类
碲99.99%-99.999%-99.9999%-99.99999%
镉 99.999%-99.9999%-99.99999%
锌 99.999%-99.9999%-99.99999%
硒 99.99%-99.999%-99.9999%
铟 99.999%-99.9999%
锑 99.99%-99.999%
铋 99.999%-99.9999%
锗 99.999%-99.9999%
镓 99.99%-99.999%