分类
根据形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶
根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等
根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材
产品规格:铟.锡氧化物(ITO)低密度小圆靶
1.产品主要用途
蒸镀制备ITO导电膜
2.产品的物理及化学特性
2.1 化学式:In2O3/SnO2
2.2 外 观:绿色
2.3 晶粒度:5~15μm
2.4相对密度:60%±2%
2.5杂质含量:≤500ppm
3.产品检测方法
3.1晶粒度:扫描电镜(SEM)观察;
3.2纯度:ICP—AES分析测试杂质含量;
3.3 密度:手测法(千分尺、分析天平);
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